一、什么是高頻超聲鍵合?
高頻超聲鍵合是指將超聲頻率提升至100kHz~250kHz范圍內(nèi)進(jìn)行的引線鍵合工藝,相較于傳統(tǒng)60kHz超聲鍵合技術(shù)而言,該技術(shù)通過在更高頻率下施加超聲能量,使金屬引線(金線、銅線、鋁線)與芯片焊盤實現(xiàn)固態(tài)連接。
二、高頻超聲鍵合工作原理
高頻超聲鍵合的基本原理與傳統(tǒng)超聲鍵合一致,但由于頻率提升,其物理機制呈現(xiàn)以下特點:
2.1 超聲軟化效應(yīng)
超聲能量使金屬內(nèi)部晶格振動加劇,金屬表現(xiàn)出軟化現(xiàn)象,在機械壓力作用下發(fā)生塑性變形。Langenecker的研究證實,在高達(dá)1MHz頻率下超聲軟化現(xiàn)象依然存在。
2.2 應(yīng)變速率效應(yīng)
較高頻率下,傳遞至引線的剪切振動產(chǎn)生更高的應(yīng)變速率,使引線材料中應(yīng)力升高。這一機制可能導(dǎo)致引線形變減少,而更多能量傳遞至焊接界面,從而在較低形變條件下形成牢固鍵合。
2.3 擴(kuò)散加速效應(yīng)
較高頻率可加速金屬相互擴(kuò)散過程,促進(jìn)更高質(zhì)量的金屬焊接形成,對于異種金屬(如Au-Al體系)可形成更完整的金屬間化合物層。
三、高頻超聲鍵合工藝優(yōu)勢
3.1 設(shè)備動態(tài)性能提升
小型高頻換能器具有較小的質(zhì)量與慣性,可實現(xiàn)更快的運行速度,適用于高速自動化生產(chǎn)場景。
3.2 鍵合質(zhì)量改善
- 金屬飛濺減少:120kHz頻率下鍵合周邊金屬飛濺顯著減少,有助于提高工藝潔凈度
- 鍵合時間縮短:高頻條件下可在更短鍵合時間內(nèi)獲得更高良率
- 低溫鍵合能力:在100kHz、140kHz、250kHz等較高頻率下,可在50℃低溫條件下實現(xiàn)優(yōu)質(zhì)金球形鍵合,其中250kHz頻率可獲得zuijia剪切強度
3.3 特殊材料適應(yīng)性
高頻超聲在難以鍵合的焊盤材料(如軟基材、聚酰亞胺、PTFE等)上表現(xiàn)出更好的鍵合特性。研究推測,聚合物材料在高頻下吸收的超聲能量較少,從而使更多能量集中于鍵合界面,改善鍵合效果。
四、 高頻超聲鍵合頻率范圍
五、高頻超聲鍵合質(zhì)量評價
鍵合質(zhì)量受超聲頻率、功率、壓力、時間、材料表面狀態(tài)及工具狀態(tài)等多因素耦合影響。在工程實踐中,推拉力測試是評價引線鍵合zhiliang最直接、zuiguang泛應(yīng)用的檢測手段。通過專用設(shè)備——推拉力測試機,對鍵合點施加剪切力或拉伸載荷,定量測定鍵合界面的機械強度:
推力測試:主要用于球形鍵合點的質(zhì)量評價,記錄焊球脫離焊盤時的zuida剪切力。
拉力測試:主要用于楔形鍵合及線弧強度評價,測得引線斷裂或鍵合點脫離時的zuida拉力值。
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